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2022-01-11 16:07:09

一文訴說化學機械拋光液的現狀和前景

21世紀國力的競爭歸根到底為先進制造能力的競爭,在信息時代的今天,主要表現為對電子產業先進制造能力的競爭。目前,電子產品的先進制造業的快速發展方向為高精度、高性能、高集成度以及可靠性,因此,對加工工件表面的局部平整度和整體平整度都提出了前所未有的高要求(要求達到亞納米量級的表面粗糙度),但是國際上普遍認為,加工工件特征尺寸在0.35μm以下時,必須進行全局平坦化,而化學機械拋光不但集中了化學拋光和

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