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平面研磨機/拋光機

GRISH平面研磨機主要用于硅片、藍寶石、玻璃、機械密封件以及鋁合金、不銹鋼外觀件等的的單面研磨或拋光。

平面研磨機

GRISH平面研磨機主要用于硅片、藍寶石、玻璃、機械密封件以及鋁合金、不銹鋼外觀件等的的單面研磨或拋光。


產品規格

產品型號項目 單位 PG360-4 
下研磨盤尺寸(外徑×厚度) mm Φ914×45 
上研磨盤尺寸(外徑×厚度) mm Φ360×40(4pcs) 
單次加工數量pcs 4軸同時加工(片/Run) 
96pcs/2寸、28pcs/4寸、12pcs/6寸 
加工時間 min 180min/Run 
研磨件最高平面度精度/拋光件最高平面度精度 um 0.005(Φ80)/0.008(Φ80) 
研磨件表面粗糙度/拋光件表面粗糙度 um Ra0.15/Ra0.125 
加壓氣缸缸徑 mm Φ100 
氣源壓力 Mpa 0.5-0.7Mpa 
下研磨盤轉速 rpm 10~90rpm(stepless regulating) 
下研磨盤電機 Kw 功率15KW,額定轉速:1450rpm 
上研磨盤轉速 rpm 10~90rpm(stepless regulating) 
上研磨盤電機 Kw 功率0.4KW(4pcs),額定轉速:1450rpm 
外型尺寸(約:長×寬×高) mm 1320×2200×2460 
整機重量 kg 4000


產品特點

  • 采用變頻器調速,起動及停車平穩、無沖擊; 

  • 拋光機為四工位。將拋光工件貼敷于瓷盤上,下研磨盤由變頻電機驅動,轉速為5-90r/min可調。上研磨盤四工位獨立變頻電機驅動,轉速5-90r/min可調; 

  • 設備采用計時控制,當機器達到預置的拋光時間時,同時本機床具有工件盤數計數功能,能記錄每班的工作效率; 

  • 設備配有對工件加壓拋光的可變加壓機構,當加工不同材質、尺寸的工件時,可根據加工工藝要求選擇加壓拋光時間、加壓壓力;

  • 采用PLC控制,控制方式靈活可靠;

  • 用觸摸屏設置機床的加工參數、顯示報警信息和機床狀態的實時信息,介面操作便捷,信息量大;

  • 設備上下拋光盤均為水冷盤,可有效控制拋光過程中研磨盤的溫度,盤面溫度可控制在設定溫度±1°范圍內。


應用領域

  • 藍寶石 · LED

  • 不銹鋼

  • 適用于磷化銦、砷化鎵、碳化硅、氮化鎵、氧化鎵等襯底材料,

  • 氮化鋁、氮化鋁、氧化鋁等陶瓷基板散熱材料,

  • 鉭酸鋰、鈮酸鋰、硒化鋅、硫化鋅、氟化鋇、氟化鈣等光學晶體材料。


  • 能夠有效降低被加工晶片的劃傷率,成品合格率高達95%以上,損傷層<5μm,表面光潔效果好,研磨拋光效率能提高2-3倍,耗材使用量較傳統工藝節省30-40%,與海外同類產品相比擁有明顯性價比優勢!

  • (以上數據來源于國瑞升實驗室測試數據,僅做參考,實際情況依據客戶不同而有所變動)

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